EDK 4500 AMC在线监测离子迁移谱 气体分析仪

EDK 4500 EIMS AMC在线监测离子迁移谱

EDK 4500 EIMS AMC在线监测离子迁移谱 技术具有灵敏度高（ppb范围）、响应速度快（毫秒范围）、结构紧凑、可在大气压下操作以及能分离异构体等优点。在这篇简短的报告中，我们展示了使用IMS检测HCl和氟化氢（HF）的灵敏度和快速响应。

HCl和HF是摩尔质量为36.46 g/mol（HCl）和20 g/mol（HF）的小分子。盐酸和氢氟酸是医药、高分子、石油化工等工业中的重要化合物。这两种化学物质在半导体工业中也很重要。在许多半导体应用中，需要在低ppb水平下监测HCl和HF的存在。

将60 ppb的HCl与85 ppb的HF进行比较。从右图很明显可见，这两个化合物可以很容易地被EIMS区分。IMS的分离能力可以通过降低离子门脉冲的长度来提高。然而，分离度的提高会导致灵敏度的降低。另一方面，牺牲IMS的分辨能力可以提高灵敏度。所有这些修改都可以在软件中轻松实现，用户可以方便地设置HCl和HF检测的合适参数。

产品主要特点：