TOC超纯水设备

TOC超纯水设备

微电子行业制备超纯水流程中，因紫外线技术在超纯水高品质要求中不引入新的物质，而得到广泛应用。

有机物是超纯水系统中最难控制的污染，随着集成电路临界尺寸不断缩小挑战，对超纯水中TOC值的要求越来越高，因此，如何配置紫外线，如何确认配置中紫外线设备的有效紫外剂量，进而使TOC去除合格且水中溶解氧不升高，安力斯将为您解决这些运营困扰。    

185nmUV主要用于去除超纯水制备过程中的TOC，使出水满足美国ASTM超纯水水质标准及电子工业部电子级水水质标准。

产品介绍：

EX-UPW-TOC产品系列是一款适用于超纯水 (UPW) 制备中对总有机碳 (TOC) 进行降解的先进可靠系统。通过更高185nm穿透率、实时在线的紫外线强度监测、本地/远程的智能控制，实现高效、安全可控的总有机碳 (TOC) 降解。该设备在超纯水制备工艺中，可使超纯水TOC降至1ppb以下。

产品主要组成：高强度185nm的紫外灯管，高输出石英套管，内外电解抛光的一体化紫外反应器，高度精确的UV强度传感器及智能自控系统组成。

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产品规格：