随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

干式真空泵式指泵能从大气压下开始抽气，又能将气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或接近的机械真空泵。目前，大多数机械真空泵都是用油、水或其他流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科技发展及真空应用领域的扩大，原有的真空泵出现了两个急需解决的问题：一是泵的工作解释返流污染被抽容器，在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本;其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，是泵不能正常工作**要用到干式真空泵。

气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：变容真空泵利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。动量传输泵：这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。