利用白光干涉测量法的原理，NanoCalc用一个宽波段的光源来测得不同波长的反射数据，由于反射率n和k随膜厚的不同而变化，NanoCalc根据这一特性来进行曲线拟合从而求得膜厚。在NanoCalc中，不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述，从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。NanoCalc的膜厚测量范围为1nm到1mm，只要待测材料有一定的透射或反射就能通过NanoCalc进行膜厚测量，这些材料包括氧化物、氮化物和保护膜层等，通常这些覆膜的基地材料包括硅晶片或玻璃灯。
光学膜厚系统光谱仪1nm以上的金属膜厚也能测量，只要不是*不透光的。对于已知的系统，3层以内的多层膜厚测量可以在不到一秒钟时间内完成。
通常拟合曲线和实际曲线由于干涉会引起一些差异，NanoCalc的算法充分考虑到了这一点，从而可以在比较粗糙的表面进行测量。
光学膜厚系统光谱仪产品主要优势和特点
UV/VIS/NIR高分辨率的配置测量准确度在1nm，精度在0.1nm可测量zui大10层薄膜膜厚测量zui小可至1nm，zui大可至1mm可测量zui小1nm厚的透明金属层提供试验台及附件用于复杂外形材料的测量对表面缺陷和光滑度不敏感庞大的材质数据库，保证各种材料的精确测量
快 速： | 每次测量只需轻点一下鼠标，测量结果立即呈现在显示屏上，不到一秒钟。应用于在线模式下，可接受到采样信号后，立即测量。 |
准 确： | 分辨率0.1nm，重复性0.3nm，准确度优于1%，并且还有数百种材料组成的庞大材料库，帮助您准确分析您的薄膜。同时NanoCalc为光学测试系统，无任何运动部件，不会由于多次测量产生回程误差等机械运动误差，可长时间稳定工作。 |
无 损： | 光学无损检测，无需像台阶仪、SEM等需破坏样品进行测量。 |
灵 活： | 重量约为3.5kg，体积为180*150*263mm，USB连接方式，自适应90-240V的电压，携带方便，安装简单，可任意放置于实验室、生产线甚至办公桌上使用。拥有多种特种配件，可适用如非平面测量，显微测量，mapping等特殊要求。 |
易 用： | 软件界面直观，操作简便，用户体验出色。无需专业知识以及复杂的技术培训，预先设置好测试配方后，每次重复调用即可。 |
性价比高： | 相对于传统膜厚测量设备，NanoCalc拥有非常高的性价比。 |
