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气态分子污染物CF4泄漏分析仪是基于超灵敏悬臂梁增强光声光谱探测技术，结合量子级联激光（QCL）光源，工作于CF4的中红外基本光谱吸收峰。这两者的结合提供了足够的灵敏度可以无时延的探测最微小浓度的CF4喷溅或者溢出，同时保证了超高水平的稳定性。重新校准的周期长达几个月甚至几年，大大减低了总体持有成本。
气态分子污染物CF4泄漏分析仪测量参数：
l响应时间：取决于用户可定义通道积分时间CIT以及气体冲洗设定。根据平均时间和采样设定从大约10秒到几分钟不等
l 监测下限：小于0.1ppb
l动态量程：大于5个数量级（检测下限的100,000倍)
l重复性：运行条件下，校准浓度重复性小于1%
l准确度：校准浓度高于5%，受限于校准气体准确度
l温度稳定性：在运行温度范围内的环境温度变化不会导致漂移
l 压力稳定性：压力范围内的样品压力变化不会导致漂移
优势
l 准确、可靠和低维护成本的洁净室污染控制
l 快速的响应时间，以捕捉浓度突然上升
l 独立运行系统，内置气体交换泵
l 无耗材或者化学试剂
l 短光程，单点校准也可达到业内水平的动态量程
l 直接吸收测量，无漂移
l 校准间隔长（可达数年）
l 高选择性，不受乙醛和其他VOC的干扰