材质:不锈钢
抽气量:200
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| 材质 | 不锈钢 |
|---|---|
| 抽气量 | 200 |
| 抽气速率 | 100~2900m3/h |
| 极限压力 | 3.7x10-3 Torr |
| 类型 | 真空泵 |
| 输送介质 | 气体 |
| 性能 | 耐腐蚀,卫生,无泄露 |
| 用途 | 抽真空 |
| 真空度 | 高真空度 |
| 泵轴位置 | 边立式 |
| 品牌 | Edwards |
| 型号 | iXH EPX iH iGX |
| 加工定制 | 否 |
Edwards 是全球**的半导体、平板显示器、LED和太阳能电池制造集成解决方案提供商，是工业、制药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业以及广泛的研发应用的真空技术**。 Edwards 在全球大约 30 个**/地区拥有 4200 多名员工，从事高科技真空和废气管理设备的设计、制造和支持工作。Edwards 拥有 94 年服务于超过 60 亿美元市场的丰富历史。Edwards还依托国际化的销售和服务团队，提供其他广泛的泵技术和相关产品。Edwards包含三项平台业务， 这些业务在其所服务的市场上不断发展，并取得了领导地位。Edwards从1939年开始制造真空设备直到现在，所做出的技术创新承诺一直被秉承为Edwards的工作核心。Edwards作为值得信赖的合作伙伴，已经与许多世界制造商建立了良好的客户关系，并且深深了解其主要的制程挑战。Edwards的技术专长和应用经验造**了创新型解决方案，可通过长期合作和伙伴关系帮助优化制程。
iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场** iH 产品的换代升级，为严苛制程能力 树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。
可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有**大可靠性。
iXH 泵采用模块化设计，符合 当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。
EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。
EPX 系列以极轻、极小的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获独特单轴再生 Holweck分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。
EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立通信连接。
iH 高真空干泵 我们的 iH 干泵为高难度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵，使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计，可改善粉尘的处理，减少排气噪音。此外，iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。
