高纯水：既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至低程度的水。电阻率大于10～18.3MΩ*cm极限值。超纯水,是一般纯水设备很难达到的程度，通常采用预处理、反渗透技术、高纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换（抛光）、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm。 制备工业用高纯水的工艺流程 电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种： 1.采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点 2.采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→软水器-精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点 采用反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→软水器-精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→抛光混床-紫外线杀菌器-终端精密过滤器→用水点

1、工艺标准

（1）《钢制焊接常压容器 NB/T  47003.1—2009》

（2）《水处理设备 技术条件 JB/T 2932-1999》

（3）《机械设备安装工程施工及验收通用规范》GB50231-2009

2、电气安装标准

（1）GB50168-2006 《电气装置安装工程电缆线路施工及验收规范》

（2）GB50171-92《电气装置安装工程盘/柜及二次回路施工及验收规范》

（3）GB50169-2006《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》

超纯水设备工艺流程：

（1）预处理+双级反渗透+电去离子+抛光混床

（2）预处理+单级反渗透+电去离子

（3）预处理+单级反渗透+再生混床